芯片制程工艺气体的色谱分析

燃料电池汽车尾气排放检测仪

本仪器采用泵吸式进样方式及热导原理，用于检测燃料电池汽车尾气中的氢气含量，具备高精度、快速响应、稳定性和良好重复性的特点。其工作原理基于氢气与标准样品热导率的不同，从而测定氢气含量。仪器符合GB/T 37154-2018和GB/T 24549-2009相关标准。氢气具有易燃易爆特性，需谨慎操作。

华爱-氪分析用氦离子色谱仪

氦离子色谱仪适用于电子工业气体中痕量杂质的检测，配备高灵敏氦离子化检测器和华爱公司中心切割技术，具备进样压力自动校正系统及多柱箱设计。该设备能检测氪气中的多种杂质，符合国家标准GB/T 5829-2006，检测精度高达5ppb。

二氯硅烷分析用氦离子色谱仪

该二氯硅烷氦离子色谱仪配备了高灵敏度的氦离子化检测器，采用了中心切割技术和多柱箱设计，并具备进样压力自动校正系统。此仪器已获得多项荣誉，包括上海市成果转化A级项目和上海市重点新产品等称号。它能够精确测量多种气体和金属元素的含量，适用于高纯硅原料分析。

四氯硅烷分析用氦离子色谱仪

该四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用于电子工业气体中痕量杂质的检测，最小检出浓度为5ppb。仪器采用高灵敏度氦离子化检测器和华爱公司专利的中心切割技术，配备进样压力自动校正系统及多柱箱设计，能有效检测多种硅化合物和金属元素杂质，确保产品质量。